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HEIDENHAIN海德漢(hàn)光(guāng)柵尺測量精度

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HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度

HEIDENHAIN海德漢特殊的生(shēng)產設施和測量設備造(zào)就(jiù)了海德漢的高質量產品。光刻的主要(yào)和次(cì)主要生產過程都是在潔淨室裏完成的,在(zài)潔淨室裏(lǐ)配備了特殊的溫度(dù)穩定和防振動(dòng)隔離裝置(zhì)。仿形機和其它生產直線和角度刻線用的機械設備都是由海德漢自(zì)己研發和製(zhì)造的。

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HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度

HEIDENHAIN海德漢特(tè)殊的生產設施和(hé)測量設備造就了海德漢的高質量產品。光(guāng)刻的主要(yào)和次主要生產過程都是在潔淨室裏完成的,在潔淨室裏配備了特殊的溫度穩定和防振動隔離裝置。仿形機和其它生產直線和(hé)角度(dù)刻線用的(de)機(jī)械設備都是由海德漢自己研發和(hé)製造的。

HEIDENHAIN海德(dé)漢封閉式光柵尺能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液(yè),是用(yòng)於機床的(de)理想選擇。

敞開式光柵尺與讀數頭和光柵尺或鋼帶間沒有(yǒu)機械接觸。這些光柵尺的典型應用(yòng)包括:測量機、比較儀和其它長度計量精密設備以(yǐ)及生(shēng)產和測量設備,例如用在半導體工業中。

增量式(shì)光(guāng)柵尺決定當前位置的方式是由原點開始數測(cè)量(liàng)步距或細分電路的計數信號數量。海德漢的增量式光柵尺帶有(yǒu)參考(kǎo)點,開(kāi)機時(shí)必須執行參考點回零,操作非常簡單、快捷。

式光柵(shān)尺無需(xū)執行參考(kǎo)點回零操作就能直(zhí)接提(tí)供當前位(wèi)置值。光柵尺的位置值(zhí)通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。

敞開式直線光(guāng)柵(shān)尺

敞開式直線光柵尺設(shè)計用於對(duì)測(cè)量(liàng)精度要求*的機床和係統。

典型應用包括:

  • 半導體業的測量和生(shēng)產設備

  • PCB電路板組裝機(jī)

  • 超(chāo)高精度機床

  • 高精度機床

  • 測量(liàng)機和比較儀,測量(liàng)顯微鏡和其它精(jīng)密測量(liàng)設備(bèi)

  • 直驅電機

HEIDENHAIN海德漢光柵尺規格

 

 

LC 195 S

 

 

LC 195 S

 

 

LC 195 F

 

 

LC 195 M

測量標準

線(xiàn)膨脹係數

帶軌道和增量(liàng)軌(guǐ)道的Diadur玻璃秤,光柵(shān)周期20微米

αtherm?8 x 10–6 k–1

精度等(děng)級*

測量長度為(wéi)±3微米至3040毫米(mǐ);±5微米

測(cè)量長度ml*in mm

140 240 340 440 540 640 740 840 940 1040 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1740 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240

功能安全

適用於以下應用程序

  • •符(fú)合EN 61 508的(de)SIL-2
    •3類,pl“d",根據
    EN ISO 13 849-1:2008標準

PFH

25 x 10–9; ML > 3040 mm: 40 x 10–9

(海拔高達1000米)

安全位置1)

編碼器:±550μm;ml>3040 m m:±2050μm

(安全相關測量步驟sm=220μm)


機械連接:外殼和掃描裝(zhuāng)置鬆動故(gù)障排除(chú)(第21頁)

界麵

DRIVE-CLiQ

Fanuc串行(háng)接口/αi接(jiē)口

三菱(líng)高速(sù)接口

訂購名稱

DQ01

Fanuc05

Mit03-04

測量步驟

At ±3 µm

At ±5 µm

 

0.001 µm

0.010 µm

αI接口/α接口

0.00125 µm/0.010 µm

0.0125 µm/0.050 µm

 

0.001 µm

0.010 µm

時鍾(zhōng)頻率(計算時間TCAL)

電氣(qì)連接

分離可在兩側連接到安裝塊的適配器電纜(1 m/3 m/6 m/9 m)

電纜長度

≤ 30 m2)

≤ 50 m

≤ 30 m

電壓供應

DC 10 V to 28.8 V

DC 3.6 V to 14 V

功耗(大(dà))

10 V: ≤ 1.5 W; 28.8 V: ≤ 1.7 W

3.6 V: ≤ 1.1 W; 14 V: ≤ 1.3 W

橫移速度

≤ 180 m/min (max. acceleration ≤ 100 m/s2)

所需移動力

≤ 4 N

振動55赫茲至2000赫茲
影響

衝擊11毫秒

外殼:≤200 m/s2(EN 60 068-2-6)

掃(sǎo)描單元:≤200 m/s2(EN 60 068-2-6)

≤300 m/s2(EN 60 068-2-27)

工作溫度(dù)

0 °C to 50 °C

保(bǎo)護EN 60 5293)

當根據手冊說明安(ān)裝時,防護等級為IP53,防(fáng)護等級(jí)為IP64,密封空氣(qì)來自DA 400。

質量

0.55 kg+2.9 kg/m測量長度

*訂購時請選擇

1)位(wèi)置值比較後(hòu),後續電子設備中可能會出現進一步的(de)公差(聯係(xì)後(hòu)續電(diàn)子設備的(de)製造商)

2)根據要求(qiú)延長電纜長度

3)在應用中,LC必須防止顆粒和液體侵入。

HEIDENHAIN海德漢光柵尺測(cè)量精度(dù)

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