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HEIDENHAIN海德漢(hàn)光(guāng)柵尺測量精度
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度HEIDENHAIN海德漢特殊的生(shēng)產設施和測量設備造(zào)就(jiù)了海德漢的高質量產品。光刻的主要(yào)和次(cì)主要生產過程都是在潔淨室裏完成的,在(zài)潔淨室裏(lǐ)配備了特殊的溫度(dù)穩定和防振動(dòng)隔離裝置(zhì)。仿形機和其它生產直線和角度刻線用的機械設備都是由海德漢自(zì)己研發和製(zhì)造的。
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測量精度
HEIDENHAIN海德漢特(tè)殊的生產設施和(hé)測量設備造就了海德漢的高質量產品。光(guāng)刻的主要(yào)和次主要生產過程都是在潔淨室裏完成的,在潔淨室裏配備了特殊的溫度穩定和防振動隔離裝置。仿形機和其它生產直線和(hé)角度(dù)刻線用的(de)機(jī)械設備都是由海德漢自己研發和(hé)製造的。
HEIDENHAIN海德(dé)漢封閉式光柵尺能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液(yè),是用(yòng)於機床的(de)理想選擇。
敞開式光柵尺與讀數頭和光柵尺或鋼帶間沒有(yǒu)機械接觸。這些光柵尺的典型應用(yòng)包括:測量機、比較儀和其它長度計量精密設備以(yǐ)及生(shēng)產和測量設備,例如用在半導體工業中。
增量式(shì)光(guāng)柵尺決定當前位置的方式是由原點開始數測(cè)量(liàng)步距或細分電路的計數信號數量。海德漢的增量式光柵尺帶有(yǒu)參考(kǎo)點,開(kāi)機時(shí)必須執行參考點回零,操作非常簡單、快捷。
式光柵(shān)尺無需(xū)執行參考(kǎo)點回零操作就能直(zhí)接提(tí)供當前位(wèi)置值。光柵尺的位置值(zhí)通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。
敞開式直線光(guāng)柵(shān)尺
敞開式直線光柵尺設(shè)計用於對(duì)測(cè)量(liàng)精度要求*的機床和係統。
典型應用包括:
半導體業的測量和生(shēng)產設備
PCB電路板組裝機(jī)
超(chāo)高精度機床
高精度機床
測量(liàng)機和比較儀,測量(liàng)顯微鏡和其它精(jīng)密測量(liàng)設備(bèi)
直驅電機
HEIDENHAIN海德漢光柵尺規格 |
LC 195 S |
LC 195 S |
LC 195 F |
LC 195 M |
測量標準 線(xiàn)膨脹係數 | 帶軌道和增量(liàng)軌(guǐ)道的Diadur玻璃秤,光柵(shān)周期20微米 αtherm?8 x 10–6 k–1 | |||
精度等(děng)級* | 測量長度為(wéi)±3微米至3040毫米(mǐ);±5微米 | |||
測(cè)量長度ml*in mm | 140 240 340 440 540 640 740 840 940 1040 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1740 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240 | |||
功能安全 適用於以下應用程序 |
| – | ||
PFH | 25 x 10–9; ML > 3040 mm: 40 x 10–9 (海拔高達1000米) | – | ||
安全位置1) | 編碼器:±550μm;ml>3040 m m:±2050μm (安全相關測量步驟sm=220μm) | – | ||
機械連接:外殼和掃描裝(zhuāng)置鬆動故(gù)障排除(chú)(第21頁) | ||||
界麵 | DRIVE-CLiQ | Fanuc串行(háng)接口/αi接(jiē)口 | 三菱(líng)高速(sù)接口 | |
訂購名稱 | DQ01 | Fanuc05 | Mit03-04 | |
測量步驟 At ±3 µm At ±5 µm |
0.001 µm 0.010 µm | αI接口/α接口 0.00125 µm/0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm |
0.001 µm 0.010 µm | |
時鍾(zhōng)頻率(計算時間TCAL) | – | |||
電氣(qì)連接 | 分離可在兩側連接到安裝塊的適配器電纜(1 m/3 m/6 m/9 m) | |||
電纜長度 | ≤ 30 m2) | ≤ 50 m | ≤ 30 m | |
電壓供應 | DC 10 V to 28.8 V | DC 3.6 V to 14 V | ||
功耗(大(dà)) | 10 V: ≤ 1.5 W; 28.8 V: ≤ 1.7 W | 3.6 V: ≤ 1.1 W; 14 V: ≤ 1.3 W | ||
橫移速度 | ≤ 180 m/min (max. acceleration ≤ 100 m/s2) | |||
所需移動力 | ≤ 4 N | |||
振動55赫茲至2000赫茲 衝擊11毫秒 | 外殼:≤200 m/s2(EN 60 068-2-6) 掃(sǎo)描單元:≤200 m/s2(EN 60 068-2-6) ≤300 m/s2(EN 60 068-2-27) | |||
工作溫度(dù) | 0 °C to 50 °C | |||
保(bǎo)護EN 60 5293) | 當根據手冊說明安(ān)裝時,防護等級為IP53,防(fáng)護等級(jí)為IP64,密封空氣(qì)來自DA 400。 | |||
質量 | 0.55 kg+2.9 kg/m測量長度 | |||
*訂購時請選擇 1)位(wèi)置值比較後(hòu),後續電子設備中可能會出現進一步的(de)公差(聯係(xì)後(hòu)續電(diàn)子設備的(de)製造商) 2)根據要求(qiú)延長電纜長度 3)在應用中,LC必須防止顆粒和液體侵入。 |
HEIDENHAIN海德漢光柵尺測(cè)量精度(dù)